無油真空泵對油污染的要求。若設(shè)備嚴(yán)格要求無油時，應(yīng)該選各種無油泵，如：水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴(yán)格，可以選擇有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、擋油阱等，也能達(dá)到清潔真空要求。

干式螺桿無油真空泵主要用于高純凈的真空工藝過程，真空度極高，因此可適應(yīng)惡劣工礦，可處理含可凝性蒸汽的氣體，含微小顆粒物的氣體。它具有低耗能、抽速大、使用壽命長、免維修、無需潤滑等特點(diǎn)，因此在石化、冶金、醫(yī)藥、生物工程、造紙、微電子工程等行業(yè)將全面替代技術(shù)含量低的真空設(shè)備。